产品详情
简单介绍：
KASHIYAMA工业株式会社，多年来致力于真空技术的研究，不断开发进取，在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域，获得了客户的高度评价与信赖。
详情介绍：
KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并，除此之外，鲁式及排气组合式真空泵设备则在其他领域得到广泛应用。
小型风冷干式真空泵NeoDry系列
维护周期每三年实现一次！（推荐的空气/ N 2吸气时间）
如涡旋泵更换**密封·性能恶化·无磨损粉末！
像旋转泵一样不产生油烟·真空室无污染
轻巧，紧凑，可滚动·易于更换旋转泵！
可以排出水蒸气和溶剂等可冷凝气体！
低噪音，低振动，适用于研究设施！
值得信赖的真空技术。 一个多样化的产品组，具有**的动力。
Kashiyama Industry的产品赢得了客户的广泛信赖，包括半导体和液晶制造领域。
我们多年来培养的真空技术已成为这种信任的基础。
特别是，一系列干式泵已成为半导体制造工艺的标准，是一种可以说是这种真空技术的高潮的产品，并且得到了客户的高度赞誉，它在*困难的工艺中表现出*可靠的性能。。
不仅是干泵，还有机械增压泵，真空排气设备等。由Kashiyama的真空技术生产的产品组在多个领域展示了它的强大功能。
特点
采用优良的仓库性能的立式螺丝
结构材料和温度设定导致的高耐腐蚀性
| 仕様 / 型式 | NeoDry7E | NeoDry15E | NeoDry30E | NeoDry36E | NeoDry60E | NeoDry300E |
| *大排気速度 | 110 | 250 | 500 | 600 | 1,000 | 5,000 |
| [L/min] | ||||||
| 到達圧力 [Pa] | 5 | 1 | 0.3 | |||
| （不使用气镇机构时） | ||||||
| 電源電圧 | 単相AC100～120V | 単相AC100～120V, 単相AC200～240V | 単相AC200～240V | |||
| (50/60Hz) *1 | 単相AC200～240V | 3相AC200～240V | 3相AC200～240V | |||
| 气镇机制 | 標準採用 | 可选设置（可安装N2） | 標準採用 | |||
| *大水蒸気処理量[g/h] | 120 | 250 | 350 | 600 | ||
| （使用气镇机构时） | ||||||
| 騒音値 [dB(A)] | ≦56 | ≦58 | ≦60 | ≦72 | ||
| （吸気口全閉時） | ||||||
| 振動値 [μmp-p] | ≦8 | |||||
| （吸気口全閉時） | ||||||
| 質量 [kg] | 19 | 23 | 25 | 54 | 56 | 125 |
| 吸気口径 | NW25 | NW40 | NW50 | |||
| 排気口径 | NW25 | |||||
| 外観寸法 [mm] | W:196 | W:210 | W:210 | W:298 | W:315 | W:304 |
| W*H*L *2 | H:219 | H:250 | H:250 | H:275 | H:275 | H:575 |
| L:360 | L:385 | L:410 | L:475 | L:530 | L:574 | |
