晶片工具制造商日本Fluoro福乐推出新品——非接触式晶圆传输伯努利卡盘
伯努利查克利用伯努利原理，通过喷出空气，产生更强大的吸力。输送物与伯努卡盘的表面端点接触，不旋转，并且可以在非接触状态下以稳定的保持力输送晶片中心。为了用一个本体部对应各晶片尺寸而设计。
导向制动器和晶片点接触
引导环白色销将晶片放置在4个位置的内侧，然后按下启动按钮，晶片将悬浮并靠近中心。然后，用黑角销固定，可进行非接触式输送。
特长
●持手的使用角度20度，45度，从90度的3点主体部能选择。（使用角度为固定角度，使用角度的改变只有通过改变机身部分才能改变）
●导轨制动器有一个平缓的锥度，因此晶圆边缘点接触。
●抗静电聚碳酸酯使用的引导环，通过目视的定位和吸力状态的确认能。
●由于主体部导电性尼龙树脂的采用谋求了轻量化。
●双面都有图案印刷，50 μ m的薄能对应处理困难的晶圆。
●也对应为角型等对象物量身定做的设计品。
●开关可以选择按钮或拉杆。
产品简介
◆请从使用角度20度，45度，90度的3点选择主体部。（见下文图片）
日本福乐Fluoro重庆销售中心-重庆内藤naitokikai
