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  • 产品名称:卧式低压化学气相沉积炉管

  • 产品型号:SVCS
  • 产品厂商:其它品牌
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简单介绍:
卧式低压化学气相沉积炉管 卧式低压化学气相沉积炉管用于沉积高品质的n型掺杂或非掺杂的多晶硅或非晶硅;用于沉积高品质的低应力氮化硅或氮氧化硅。
详情介绍:

卧式低压化学气相沉积炉管






产品简介

用于沉积高品质的n型掺杂或非掺杂的多晶硅或非晶硅;用于沉积高品质的低应力氮化硅或氮氧化硅。



主要技术指标

    炉管1:N型多晶硅以及非晶硅薄膜沉积工艺

气体:高纯N2、SiH4、PH3

    炉管2:低应力氮化硅,氮氧化硅薄膜

气体:高纯N2、NH3、N2O、SiH2Cl2

    温度:700-900 °C

    硅片尺寸:3英寸、4英寸、6英寸圆片;50片/炉

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