Kosaka小板研究所轮廓形状测定机EF651D 塔玛萨崎电子（苏州）有限公司

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Kosaka小板研究所轮廓形状测定机EF651D

· 采用数字式传感器、执行高精度的轮廓形状评价。

· 多种解析功能：方位向量解析、滚珠螺杆解析、非球面解析。

· 测定资料图表可自由编组表格。

产品特点

测定范围 Z:60mm X:100mm

测定精度士(0.8+2H/100)µm

触针/测定力 R25µm 30mN以下

测定角度上坡77° 下坡87°

解析要素解析/方位向量/MASTER比较/ 滚珠螺杆/非球面解析

分解能 Z:0.025µm

直线度精度 1.0µm/100mm

测定范围	Z:60mm X:100mm
测定精度	士(0.8+2H/100)µm
触针/测定力	R25µm 30mN以下
测定角度	上坡77° 下坡87°
解析	要素解析/方位向量/MASTER比较/ 滚珠螺杆/非球面解析
分解能	Z:0.025µm
直线度精度	1.0µm/100mm

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