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  • 产品名称:Kosaka小板研究所微细形状测定机ET4000

  • 产品型号: ET4000
  • 产品厂商:KOSAKA小坂研究所
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Kosaka小板研究所微细形状测定机ET4000Kosaka小板研究所微细形状测定机ET4000Kosaka小板研究所微细形状测定机ET4000
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Kosaka小板研究所微细形状测定机ET4000

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Kosaka小板研究所微细形状测定机ET4000

Kosaka小板研究所微细形状测定机ET4000

Kosaka小板研究所微细形状测定机ET4000


微细形状测定机

ET4000系列

· 高精度.安定性.机能性**适合于FPD基板·晶圆硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的机型。


· 是多机能的全自动微细形状测定机,针对用途及样品尺寸有多种机型可供选择。


· ET4000A/ ET4000AK一可实现2D/3D表面形状测量。


· ET4000M一高性能的泛用微细形状测定机。

· ET4000L一对应大型工件的全自动微细形状测定机。


· ET4300一适合12"样品测量。

特长
*大试片尺寸 210×210mm~300×400mm
重现性 1σ 0.5nm以内
测定范围 Z:100µm X:100~305mm (Y移动量:150~400mm)
分解能 Z:0.1nm X:0.1µm
测定力

0.5µN~500µN (0.05mg-50mg)


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