企业信息
第8年
- 入驻时间： 2017-03-06
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-
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产品详情
简单介绍：
SF-3Rθ
OTSUKA大冢-晶片厚度映射系统
搭载模式匹配功能，是X-Y定位精度2um以下的系统。OTSUKA大冢-晶片厚度映射系统SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系统SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系统SF-3Rθ
详情介绍：
SF-3Rθ
OTSUKA大冢-晶片厚度映射系统
搭载模式匹配功能，是X-Y定位精度2um以下的系统。
特 長
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提供微细图案，提供温厚和各种厚度信息
实现高精度X-Y定位舞台（注2μm以下），实现高精度的定位
MEMS和传感器设备等对应6英寸韦哈
（Options）：8和12英寸
除了晶片形状以外也可以对应
測定項目
- パターン付きウェーハ
- シリコンウェーハ、SiC、GaN、各種化合物ウェーハ
- テンポラリーウェーハ
スペック
スペック
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構成図
測定例
■貼り合わせウェーハ（Si／ボンディング／サポート基板）
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Si膜厚分布（約25μｍ） |
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| ボンディング膜厚分布（約25μｍ） |
OTSUKA大冢-晶片厚度映射系统SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系统SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系统SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系统SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系统SF-3Rθ
