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产品详情
  • 产品名称:Kashiyama樫山工业 干式真空泵

  • 产品型号:SDL20E50
  • 产品厂商:Kashiyama樫山工业
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简单介绍:
Kashiyama樫山工业 干式真空泵 SDL20E50,北崎有售,欢迎咨询。
详情介绍:

Kashiyama樫山工业 干式真空泵 SDL20E50

Kashiyama樫山工业 干式真空泵 SDL20E50



SDL 系列

与大直径晶圆和 FPD 牢固兼容通过组合可实现大位移。 我们还可以响应 150,000 L/min 或更高的请求。 通过高速排气缩短节拍时间 通过确保大气排气速度,通过高速排气缩短大型负载锁室的节拍时间。

还提供溶剂排气规格,因此请联系我们

主型号

规格/型号 SDL12E50 SDL20E50 SDL36E60 SDL3600
*大抽速 [L/min] *1 25,000 40,000 60,000 60,000
干泵*大抽速 [L/min] *1 8,000 8,000 10,000 12,500
极限压力 [Pa] *1 0.8
电源电压 (50/60Hz) 三相 AC200~220V, 380~440V
外部尺寸 [mm] 长×宽×高 1000×520×1050 元 票价:1370×850×1295 1370×600×1295 元
重量 [kg] 645 800 920 950

*1. N2这是不使用**时的值。
*请联系我们以获取有关海外标准遵守的信息。 规格和型号名称如有更改,恕不另行通知。
*根据泵的配置,可提供其他类型。 请联系我们的销售团队了解详情。

排气性能曲线

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