1）真空度：干式螺杆真空泵、爪式真空泵、无油涡旋真空泵极限真空度都很高，*高极限真空均可达到1-2Pa；无油往复真空泵为粗真空设备，极限真空度低，需要搭配罗茨真空泵提高极限真空。
2) 抽气量：无油涡旋真空泵由于内部结构问题，抽气量较小，只适用于小抽气量的工艺中；干式螺杆真空泵型号齐全，可适用大抽气量工艺中，配合罗茨真空泵可以满足不同客户的需求。
3）稳定性：干式螺杆真空泵性能稳定，噪音低，故障率低；无油往复真空泵结构简单，噪音较高，需要经常更换滑片。爪式真空泵由于装配复杂，转子与轴不为一体，出现故障需全部重新拆解装配，反复装配从而降低产品性能及稳定性。
4）特殊处理：由于化工、制药等相关工艺气中会不同程度含有易燃、易爆以及腐蚀性气体，所以干式真空泵需要特殊处理。干式真空泵维修（产品）内部结构简单，两根转子、泵腔均可做防腐处理，可选用镍磷涂层和特氟龙两种涂层。爪式真空泵很难做防腐处理，各级隔板之间几乎无法做表面处理，转子表面的防腐涂层也容易在装配时损伤。无油涡旋真空泵只适合抽洁净的气体，不能抽取易燃、易爆及具有腐蚀性的气体。
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