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- 产品名称:住友臭氧发生仪
- 产品型号:SGRP-03JS
- 产品展商:其它品牌
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简单介绍
住友臭氧发生仪
住友的臭氧发生器采用平板式放电电池,通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成,以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/(n),是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。
住友臭氧发生仪
产品描述
住友臭氧发生仪
住友的臭氧发生器采用平板式放电电池,通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成,以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/(n),是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。
住友臭氧发生仪
应用:
半导体器件
Si/复合晶圆
FDP(LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED)
光罩
发光二极管
具体信息:
SGRP-03JS
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臭氧气体流速
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350g/m3(N)
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臭氧气体供应压力
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15L/min (5L/min x 3Line)
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冷却水温度
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尺寸
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W570mm x D850mm x H1,870mm
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重量
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360kg
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功率
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200-220VAC, 3-phase
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SGRF-03JA
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臭氧气体流速
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400g/m3(N)
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臭氧气体供应压力
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20L/min
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冷却水温度
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尺寸
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W570mm x D850mm x H1,836mm
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重量
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350kg
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功率
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200-220VAC, 3-phase
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优势:能够通过单独控制向大容量臭氧气体提供一条管线或多条管线。
高浓度;高达400g/m3(N)
产品线丰富;小到大容量。
高压;*大0.3Mpa(SGRP系列)
无氮掺杂(SGRF系列)
高压耐受,长寿命放电单元
快速启动,快速响应
与臭氧监测仪(闭环控制)集成的稳定浓度
CE、NRTL、半标准适用
管道材料;从316LSS或PFA中选择
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