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- 产品名称：住友臭氧发生仪
- 产品型号：SGXF
- 产品展商：其它品牌
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简单介绍
住友臭氧发生仪
住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。
住友臭氧发生仪
产品描述
住友臭氧发生仪
住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。
住友臭氧发生仪
应用：
半导体器件
Si/复合晶圆
FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED）
光罩
发光二极管
具体
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溶解臭氧浓度
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5 to 30ppm
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臭氧化超纯水流量
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1 to 60L/min
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原料气
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氧气、二氧化碳
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功率
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200-220VAC, 3-phase
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优势：
根据所需流量改变流量。（降低超纯水消耗量）
多室电源
采用喷射溶解法快速反应。
与臭氧监测仪（闭环控制）集成的稳定浓度
无氮臭氧水
运行成本低（功耗低，易损件数量少，放电单元寿命长）
高压耐受，长寿命放电单元
关闭期间免维护
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