产品详情
  • 产品名称:日本USHIO牛尾显影、蚀刻装置DeveloperEtching AD-3000四川成都优势供应

  • 产品型号:AD-3000
  • 产品厂商:日本USHIO牛尾
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简单介绍:
日本USHIO牛尾显影、蚀刻装置DeveloperEtching AD-3000四川成都优势供应 日本USHIO牛尾显影、蚀刻装置DeveloperEtching AD-3000四川成都优势供应
详情介绍:
腔室: 不锈钢制
转速: 0~3,000rpm
基板尺寸:Φ1 Inch~Φ12 Inch
(220×220mm) 
互锁: 真空吸附确认传感器
腔室外盖互锁
喷嘴移动越位限制器
药液压力推送:加压泵压力推送式 
药液送出:喷洒式送出
(摆动喷嘴式)
电源: AC200V 3相 15A
步骤数目:48步
带有跳过、复制功能
尺寸:720W×500H(910H)×520D
(mm/阀门打开时) 
编程模式:10种模式
重量:60kg
工艺工序(标准):显影液:1系统(2喷嘴)
冲洗:1系统(2喷嘴)
后冲洗:1系统 
主要可选项:药液温度管理系统
(加压方式)
各种基板架
设置用工作台
使用药液:碱性显影液

※规格可能会未经通知发生变更
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