等离子清洗机原理

等离子清洗机原理
   等离子清洗机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这时会发出辉光，故称为辉光放电处理。 辉光放电时的气压大小对材料处理效果有很大，影响另外与放电功率，气体成分及流动速度、材料类型等因素有关。
   等离子清洗机原理 
   这种等离子体有一些显著的特征：
   1 .气体产生辉光现象，常称为“辉光放电” 。由于是真空紫外光，其对蚀刻率有十分积极的影响。
   2. 气体中包含中性粒子、离子和电子。 由于中性粒子和离子温度介于102 —103K，电子能量对应的温度高达105K ，它们被称为“非平衡等离子体”或“冷等离子体”。 但是它们却表现出电中性准中性。
 

3. 气体所产生的自由基和离子活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应。等离子体中粒子的能量一般约为几个至几十电子伏特，大于聚合物材料的结合键能(几个至十几电子伏特)， 完全可以破裂有机大分子的化学键而形成新键；但远低于高能放射性射线，只涉及材料表面不影响基体的性能。
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