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*新推出微波等离子清洗机
*新推出微波等离子清洗机，用于半导体生产中晶圆的清洁和等离子体预处理，微波等离子高度活性、高效，且不会对电子装置产生离子损害。
微波等离子体系统是下列用途的理想方式：
·等离子体表面改性
·有机物表面等离子体清洁
·邦定强度增强
·等离子体刻蚀应用
·等离子体灰化应用
·增强或减弱浸润性
·其它等离子体系统应用
微波等离子清洗机在封装工艺中的应用：
·防止包封分层
·提高焊线质量
·增加键合强度
·提高可靠性，尤其是多接口的**封装
·提高产能
·节约成本
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