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产品资料

PLD激光脉冲镀膜

PLD激光脉冲镀膜
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:PLD激光脉冲镀膜
  • 产品型号:Pioneer240
  • 产品展商:其他品牌
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍
激光脉冲镀膜(PLD)是一种用途广泛的薄膜沉积技术。脉冲激光快速蒸发靶材,生成与靶材组成相同的薄膜。PLD的独特之处是能量源(脉冲激光)位于真空室的外面。这样,在材料合成时,工作压力的动态范围…
产品描述
技术参数
Pioneer240
1、*大wafer直径 4”

2、*大靶材数量 6个1” 或3个2”

3、压力(Torr) <10-8

4、真空室直径 24”

5、基片加热器 4”,旋转

6、*高样品温度 850℃

7、Turbo泵抽速
(liters/sec) 800
主要特点
*PLD概念清晰易懂:激光束使靶子表面蒸发,生产出与靶子同样化学组成的膜。
*PLD应用广泛:很多材料在多样的气体环境和很宽的气体压力范围内都可以镀膜。
*PLD节省成本:一束激光能够供多个真空系统使用。
*PLD高效率:在10至15分钟,可生长高质量的样品。
*PLD可升级:当需要大批量生产复合氧化物膜时,Neocera公司将证明PLD作为生产工具的价值。
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