产品系列及特性
输入压力
输出压力
允许内泄漏*
流量范围
阀体材料
64-2600单级压力、超高纯度
·5Ra或10Ra微英寸抛光
600PSIG
30,60,100,
<1×10-9
0-100
316L不锈钢
·电解抛光或内表面电解抛光
250PSIG
SLPM
或316L不锈
·自由阀芯设计
钢VAR
·可供Hastelloy镍合金部件
·Cv=.15