每軸定位時驅動速度 8mm/s至250mm/s(.31"/s至9.84"/s) (三軸移動時最大驅動速度430mm/s(16.93"/s)) 測量時驅動速度1mm/s至3mm/s(.04"/s至.12"/s)
0至80mm/s(3.15"/s)(高速模式) 0至3mm/s(.12"/s)(低速模式) 0.05mm/s(.002"/s)(微進給模式) **
各軸加速度980mm/s2(38.58"/s2) (三軸移動時最大合成加速度1697mm/s2(66.81"/s2))