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- 产品名称:英国Ellutia高纯气/特气分析仪(High Purity Gas Analyser (HPGA))
- 产品型号:HPGA系列
- 产品展商:其它品牌
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简单介绍
英国Ellutia高纯气/特气分析仪(High Purity Gas Analyser (HPGA))HPGA系列
高纯气体应用领域极广,无论是药物分析实验室亦或是硅芯片制造厂,都需要使用高质量高纯度气体。如在半导体工业,高纯氮,氢,氩,氦可作为载气,保护气和配制混合气的气体来源。
产品描述
英国Ellutia高纯气/特气分析仪(High Purity Gas Analyser (HPGA))
高纯气体应用领域极广,无论是药物分析实验室亦或是硅芯片制造厂,都需要使用高质量高纯度气体。如在半导体工业,
高纯氮,氢,氩,氦可作为载气,保护气和配制混合气的气体来源。
Ellutia高纯气/特气分析仪可提供一整套气体混合物的分析方法,检测限可达ppb级(<50ppb),既可用于检测常见的He、
H2,Ar,N2,CO2中的微量杂质,还可分析特种气体如HCL,SiH4,BCL3,N2O,CF4等。根据不同应用要求,实现客户化定制。
产品特点
实现多种气体高灵敏度检测
氦气吹扫,避免与空气接触所引起的外界污染
精密防泄露装置,避免潜在污染
配备高纯气吸气剂,去除微量杂质
尺寸规格小,不占据实验室空间
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