真空电极，是一种可以穿过真空腔壁，将大气端的各种电功率、电讯号、运动、流体及光束的等传输到真空室内部的密封装置。外国称之为“feedthrough”,国内有很多叫法例如真空穿通密封件、真空电馈通、陶瓷封接电阻、真空连接器等，实质都是真空电极。
真空电极的一些参数主要涉及到类型、温度、导体、电压、针数、是否要求有连接线、密封的连接方式（法兰、快卸、焊接）、法兰尺寸（CF16/CF35/CF63）
真空电极的类别
多针真空电极，热电偶式真空电极，功率式真空电极、同轴式真空电极、陶瓷隔离件
此外，真空电极还有一些附件。
多针真空电极又包括以下类目：
小型连接头C，小型连接头D，MS环形连接头，多针连接头带底座，MS多针连接头，高电流连接头，高电压连接头，多针连接头。
热电偶式真空电极包括以下类目
单级组件热电偶、微型连接器、螺旋式连接器、MS真空电极、推进式真空电极、功率式真空电极。
功率式真空电极又包括低功率真空电极，**率真空电极、高功率真空电极、**率电极板、高功率电极板、高电压真空电极、液冷feedthrough、能量feedthrough、射频功率feedthrough.
同轴式真空电极包括以下类目
BNC同轴真空电极、MHV真空电极、SHV-5真空电极、SHV-10真空电极、SHV-20真空电极、SHV-B真空电极、TYPE-N真空电极、SMA真空电极、MICRODOT真空电极、混合系列真空电极。
陶瓷隔离件又分为低温Breaks,真空Breaks、液体Breaks、真空层。一般Breaks翻译为绝缘隔断管或者中断管。
真空电极附件
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