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产品简介
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产品详细信息
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CDG160D电容薄膜真空计和CDG200D电容薄膜真空计温度控制分别在 160 ℃ 和 200 °C，具有**的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。 在 1 托至 1000 托满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10V、不受气体类型限制的线性压力信号。 INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。 陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。 INFICON CDG 品质**，**成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
CDG160D电容薄膜真空计益处
- 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
- 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
- 轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移
- 诊断端口用于快速维修和维护
- 两年保修服务，加热概念和真空计保护延长了使用寿命
- **的信号稳定性和可重复性，即使是*苛刻的等离子应用，都无需长期执行重新校准
- 合规性与标准： CE、EN、UL、SEMI、RoHS
CDG160D电容薄膜真空计典型应用
- 用于刻蚀、CVD、PVD 和其他半导体制造过程
- 化学和腐蚀性高温过程
- 需要真空计保护的一般薄膜和真空过程
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