单靶等离子溅射镀膜仪（增强型） CY-PSP180G-1TA-RSH

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产品型号：CY-PSP180G-1TA-RSH

品牌：成越科仪

公司名称：郑州成越科学仪器有限公司

所在地：河南郑州

发布时间：2018-07-12

浏览次数：3000 次

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产品简介

本型号小型等离子溅射仪，采用二级溅射方式，广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验。采用低温等离子体溅射工艺，镀膜过程中无高温，不易产生热损伤。该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统，全部触摸屏操作，便于学习使用。本型号仪器还配有旋转样品台，能够有效的提升镀膜的均匀性。（本设备配有旋转加热样品台，可以提升镀膜的均匀性和薄膜的附着力）该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统，全部触摸屏操作，便于学习使用。设备体积小巧造型美观，是实验室镀膜试验的*佳选择。

产品详细信息

样品台	尺寸	100mm
	旋转速度	1~20rpm可调
	加热温度	≤500℃
	控温精度	±1℃ PID控温
等离子溅射靶	数量	2英寸x1
等离子溅射靶	冷却方式	水冷
真空腔体	腔体尺寸	φ180mm X 300mm
	观察窗口	全向可视
	腔体材料	高纯石英
	开启方式	顶盖拆卸式
	上下盖材质	304不锈钢
	抽气接口	KF25
	进气接口	1/4英寸卡套接头
电源配置	数量	直流电源x1
	输出功率	*大150W
	溅射电源	3000V
	*大溅射电流	50mA
真空系统	真空泵类型	双极旋片真空泵
	抽气接口	KF25
	排气接口	KF16
	抽气速率	1.1L/s（4m³/h）
	极限真空度	≥0.1Pa
	真空测量	电阻真空规
其他	供电电源	AC 220V 50Hz
	整机功率	2kW
	整机尺寸	570mm X 450mm X550mm
	整机重量	30kg