SpecEl 椭偏仪 SpecEl-2000-VIS
产品简介
SpecEl 椭偏仪通过测量基底反射的偏振光，进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。SpecEl通过PC控制来实现折射率，吸光率及膜厚的测量。
产品详细信息
SpecEl 椭偏仪
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SpecEl-2000-VIS椭偏仪通过测量基底反射的偏振光，进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。SpecEl通过PC控制来实现折射率，吸光率及膜厚的测量。
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集成的**测量系统
SpecEl由一个集成的光源，一个光谱仪及两个成70°的偏光器构成，并配有一个32位操作系统的PC.该椭偏仪可测量0.1nm-5um厚的单膜，并且折射率测量可达0.005%。
SpecEl可通过电话问价。
SpecEl软件及Recipe配置文件
通过SpecEI软件，你可以配置及存贮实验设计方法实现一键分析，所有的配置会被存入recipe文件中。创建recipe后，你可以选择不同的recipe来执行你的实验。
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SpecEI软件截图显示的Psi及Delta值可以用来计算厚度，折射率及吸光率。
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配置说明
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波长范围:
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380-780 nm (标准) 或450-900 nm (可选)
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光学分辨率:
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4.0 nm FWHM
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测量精度:
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厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%
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入射角:
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70°
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膜厚:
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单透明膜1-5000 nm
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光点尺寸:
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2 mm x 4 mm (标准) 或 200 µm x 400 µm (可选)
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采样时间:
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3-15s (*小)
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动态记录:
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3 seconds
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机械公差 (height):
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+/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0°
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膜层数:
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至多32层
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参考:
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不用
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