Filmetrics光学膜厚测量仪（膜厚仪） F20、F30、F40、F50、F70、F10-RT、PARTS

其可测量薄膜厚度在1nm到1mm之间，测量精度高达1埃，测量稳定性高达0.7埃，测量时间只需一到二秒, 并有手动及自动机型可选。可应用领域包括：生物医学（Biomedical）, 液晶显示(Displays), 硬涂层(Hard coats), 金属膜(Metal), 眼镜涂层(Ophthalmic) , 聚对二甲笨(Parylene), 电路板(PCBs&PWBs), 多孔硅(Porous Silicon), 光阻材料(Thick Resist),半导体材料(Semiconductors) , 太阳光伏(Solar photovoltaics), 真空镀层(Vacuum Coatings), 圈筒检查(Web inspection applications)等。

通过Filmetrics膜厚测量仪zui新反射式光谱测量技术,zui多4层透明薄膜厚度、 n、k值及粗糙度能在数秒钟测得。其应用广泛，例如 :
半导体工业 : 光阻、氧化物、氮化物。
LCD工业 : 间距 (cell gaps)，ito电极、polyimide 保护膜。
光电镀膜应用 : 硬化镀膜、抗反射镀膜、过滤片。

极易操作、快速、准确、机身轻巧及价格便宜为其主要优点，Filmetrics提供以下型号以供选择:

F20 : 这简单入门型号有三种不同波长选择(由220nm紫外线区 到1700nm近红外线区)为任意携带型，可以实现反射、膜厚、n、k值测量。

F30:这型号可安装在任何真空镀膜机腔体外的窗口。可实时监控长晶速度、实时提供膜厚、n、k值。并可切定某一波长或固定测量时间间距。更可加装到三个探头，同时测量三个样品，具紫外线区或标准波长可供选择。

F40:這型號安裝在任何顯微鏡外，可提供zui小5um光點(100倍放大倍數)來測量微小樣品。

F50:這型號配備全自動XY工作台，由8"x8"到18"x18"或客戶提供所需尺寸均可。通过快速扫瞄功能，可取得整片样品厚度分布情况(mapping)。
 
F70:仅通过在F20基本平台上增加镜头，使用Filmetricszui新的颜色编码厚度测量法（CTM），把设备的测量范围极大的拓展到3.5mm。

F10-RT：在F20实现反射率跟穿透率的同时测量，特殊光源设计特别适用于透明基底样品的测量。

PARTS：在垂直入射光源基础上增加70º光源，特别适用于超薄膜层厚度和n、k值测量。

                                                                                                                                      

***膜厚测量仪系统F20

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