德国马尔MAHR高度仪 Digimar 817 CLM 350

扩展量程：  520mm

分辨率：    0.01/0.005/0.001/0.0005/0.0001mm

示值误差： (1.4+L/600)um,    L:mm

重复性：     0.5um平面，1um孔

直度（机械）：≤5um  正面

电池充电后的操作时间；12小时以内

测量力：     1.0±0.2N

允许*大空气湿度： 65%(非冷凝空气)

*佳工作温度： 20±1℃

操作温度：   10-40℃

3点气浮高度： 约9um

测量系统：    光栅测量系统

总高度：      741mm

底座外形尺寸（LxW）:  240x250mm

重量:          25kg