Dycor Dymaxion 残余气体分析(RGA) Dycor Dymaxion 残余气体分析(RGA)

概述

DyMaxion RGAs有一系列可选择离子源（开放式，封闭式，流导限制式）和AMU范围（1-100，1-200，和1-300）。零点漂移电子倍增器技术使仪器可以提供可重复的数据，而不必和检测器的电子元件相匹配。内在诊断功能保证了数据的完整性。应用领域包括残气分析，检漏，薄膜沉积，蒸发，分子束外延，等离子刻蚀，离子培植，高能物理，化学气相沉积，发酵，溅射，低温学，真空炉，离子束处理，大气取样，和废气分析。

该仪器的特点包括：

占空间小的只能传感器
离子源的选择
CVD和大气样品应用的封闭离子源
PVD应用的流导限制式离子源
UHV应用的开放离子源
100, 200, 和300  AMU 范围
可选择模拟或数字I/O
零点漂移电子倍增器技术
内在诊断
RS-232 和 RS-485 通信端口