半导体真空快速退火炉 SLK400-50

项目

名称

内容

备注

产品名称

（半导体）快速退火炉

主 要 技 术 参 数

内胆尺寸

宽530*深430*高220mm

外形尺寸（约）

宽 920  *深900  *高 740   mm

温度范围

室温 MERGEFIELD "温度范围" ～+450℃可调（根据加热板实际热承受能力而定）

加热方式

采用铸铝加热板，

温度波动度

≤±1℃

温度均匀度

测温探头的精度为±0.5℃，控温点在加热板上部对角两点及测温的侧面一点， （恒温空载状态下）（加热板的温度均匀性±1℃）

升温速率

≤8℃/min .空载时升温速度：室温到200℃在8分钟内到达；

外壳温度

温升不超过环境+25���，门周边除外。

电源

三相五线制，380V，50HZ

总功率

20KW，使用功率16KW

箱  体  结  构  特  征

外壳材料

外层A3厚2.0冷板，

内胆材料

采用5mm厚SUS304不锈钢板制作

保温材料

1.    采用1400型纤维毯保温

2.    具有不可燃烧，隔热性强等特点，厚度为60mm

烟气隔离罩

炉体左右后三个面用亚克力板围起来，炉体正面做对开式门，四周用玻璃胶密封，开炉时可让烟气有效排除。

密封材料

密封条采用直径10mm发泡硅胶条制作，可耐温不变形，门与内胆采用单层密封形式，加强密封效果

门

配两个圆形观察窗，炉门密封圈不易老化和烧坏，真空门装有电脑控制气缸开启和关闭（闭合传感器，确定门关闭）可90度运动

观察窗

采用圆形观察窗口，观察窗直径80，生产过程一目了然

控制系统

加热部分

采用导热板加热，带水冷急速冷却

冷却部分

炉口方管及加热板

电箱

电箱与烘箱分离安装

抽真空

箱体抽气口加装电磁阀阀（带过滤器）直径100*180mm

氮气部分

氮气，需加电磁阀控制，气管管径直径8mm，设备侧面设有氮气接口和甲酸接口，并用一个三通的常闭电磁阀，其后再接一个电磁阀，以控制进入腔体的气体量，电磁阀使用方向按客户要求进出气方向安装。

 温控部分

1.    采用微电脑智能型温控器

控制器

采用台湾琦胜HM-782S触摸屏，精度高，稳定性好，设有手动，自动，工业设定等功能，配日本三菱PLC控制器（FX2N-48MR）,与台湾琦胜（型号PLL-2010-002A）可编程控制器通讯控制，能控制显示3个温区并能阶梯式程序升温，预留3个控温探头

流程：合门锁---抽真空---充氮气---自动加热---温度曲线---高温抽真空---真空泵停止---冷却降温---停止充氮---电子门锁---取料完成（供方负责加工，需方负责编程设计）

温度传感器

搁板两个感温探头预留在加热板顶部对角处，加热板侧面配一个超温的感温探头，K型探头PID温度控制器需使用3个台湾琦胜温控器，2个程序表，1个显示表

自动恒温

1.    温控器可根据用户设定的温度值，采用PID自动计算输出功率的大小，

2.    越接近温度设定值时，输出功率越小，以达到恒温控制的目的，并可节能省电

真空度

采用数显ZDZ-52T/E 电阻真空计，传感器采用成都睿宝品牌，10分钟内抽至20pa，20分钟内漏率80pa。

电磁阀

（上海西马特）电磁阀，1：真空挡板阀GDQ-7/KF16KF,2：截止阀（氮气充甲酸、水、空气GDC-A）3：压差式充气阀CYC-JQ

超温报警

当实际检测温度超过超温保护温控器设定值时，自动切断加热电源，起到双重保护功能

功  能

接地保护

结构件**接地保护。

电源缺相、相序保护

配有相序保护器

环境温度

- MERGEFIELD "环境温度" 5℃-40℃

相对湿度

≤85%RH

电源

AC380V±10%，50Hz

免费进行技术培训。