超低温用冷却器 UC-70
产品简介
超低温用冷却器 UC-70 ·氟作为专用热媒、超低温度较宽温度范围使用。 ·无液漏之忧的泵,通过逆变器进行控制
产品详细信息
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超低温用冷却器
UC-70
氟作为专用热媒、超低温度较宽温度范围使用。
主要用途
蚀刻装置等的冷却
主要特点
氟作为专用热媒、超低温度较宽温度范围使用
使用温度范围- 60℃~+ 60℃ ,超低温下冷却性能也很稳定。由于氟作为热媒,循环液罐是密闭式的。
无液漏之忧的泵,通过逆变器进行控制
使用了磁铁耦合型密封泵,无液体泄漏。
技术参数
型号
UC-70
使用温度范围
-60℃~+60℃(*1)
温度调节精度
加热器PID控制、±0.5℃以内(*2)
冷却能力
循環液温-30℃:1.15kW
循環液温-50℃:0.7kW(*3)
冷冻机(水冷式)功率
1.5kW
泵能力
排水圧力[MPa]:≤0.55
流量[L/min]:6/11
功率输出[kW]:0.75(*4)
功率输出
2.4kW
**器/**功能
漏电断路器、罐内液面低下、循环液高温、热敏继电器(冷冻机・泵)、冷媒高压・低压压力、循环流量低下、温度传感器异常检测、以防止触电、紧急停止开关
警报功能
循环液补充、循环液温异常(高温、低温、温度偏差)、泵压力偏差(*5)
输入/输出功能
远程信号输入、液温度设定信号输入、紧急停止信号输入、装置运转信号输出、装置异常信号输出、液温度监视器输出
适用热媒体(循环液)
GALDEN HT110
循环液罐容量
約2.5L(+备用罐:約9.2L)
所要一次冷却水量
冷却水温度+20℃:11L/min
冷却水温度+30℃:23L/min(*6)
配管连接口径(循环液出入口、一次冷却水出入口)
Rc1/2(阀装备)、Rc1/2
外形尺寸
553×850×1281Hmm
重量
約235kg
电源
三相AC200V・50/60Hz・30A(*7)
运转电流[A](50/60Hz)
19/21
标配附件
D辅助连接器×1(*8)、电源线(4m )、泄水接水装置
(*1)温度(-60℃ )无负荷情况下。
(*2)循环流量6L /min以上的运转。
(*3)冷却能力根据循环流量变化,请注意。
(*4)排水圧力的运转周波数75Hz时,循环流量应设定为0.15MPa。
(*5)警报功能启动时,装置也会继续运行。
(*6)所要冷却水不能正常供应,是冷却能力下降和问题发生的原因。
(*7)本产品是根据不同地域的50Hz和60Hz做调整之后出货。在询问的时候,请先确认。在购买后地域移动需重新调整。
(*8)连接连接器用的信号线不标配。
●本产品使用环境温度范围+5℃ ~+35℃ 。
●本机为大型、重量机器,运送、安装等费用需另付。
循環液温-50℃:0.7kW(*3)
流量[L/min]:6/11
功率输出[kW]:0.75(*4)
冷却水温度+30℃:23L/min(*6)
(*3)冷却能力根据循环流量变化,请注意。
(*4)排水圧力的运转周波数75Hz时,循环流量应设定为0.15MPa。
(*5)警报功能启动时,装置也会继续运行。
(*6)所要冷却水不能正常供应,是冷却能力下降和问题发生的原因。
(*7)本产品是根据不同地域的50Hz和60Hz做调整之后出货。在询问的时候,请先确认。在购买后地域移动需重新调整。
(*8)连接连接器用的信号线不标配。
●本产品使用环境温度范围+
●本机为大型、重量机器,运送、安装等费用需另付。