自动椭圆偏振测厚仪 SGC-2
产品简介
该仪器价格一共52000元，包含主机一台，全部USB接口全自动测量。同时测量镀膜和折射率多种数据处理方法软件。（不包含计算机） 可用于测量单层非金属的所有镀膜的厚度测量。测量范围：1nm～4000nm
产品详细信息
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仪器测量精度：在10nm处误差为±0.5nm； 光学中心高度：75㎜；
允许样品尺寸直径：Φ10~Φ120㎜，厚度≤10㎜；
外形尺寸：730 x230X 290；
主机重量：30kg；
偏振器步进角：0.0375°/步；
本仪器分为光源、接收器、主机、电子及通讯四部分，外观参看右图。
1、 光源：采用波长为632.8nm的氦氖激光光源①其特点是：光强大、光谱纯、波长稳定性好。
2、 接收器：采用光电倍增管⑤，把光讯号变为电讯号，经放大后输出至微机，由微机选择出消光位置的角度值。
3、 主机部分：除以上两项外，还有起偏组件②，样品台③，检偏组件④。
4、电子及通讯部分⑥：采集光强及对应的角度值并传输到计算机，再接收由计算机发出的指令逐步靠近消光点。
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