5英寸近距离蒸发镀膜炉(CSS)OTF-1200X-RTP-II-5 OTF-1200X-RTP-II-5

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产品型号:OTF-1200X-RTP-II-5
 牌:MTI
公司名称:深圳市科晶智达科技有限公司
  地:广东深圳
发布时间:2014-07-15
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产品简介

 OTF-1200X-RTP-II-5是一款快速热处理炉,其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。此款设备专门实际针对于热蒸发或CSS(Close Spaced Sublimation)镀膜实验,其镀膜面积可达到5"x5"。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管(分别位于顶部和底部),最大升温速率为20ºC/s 。采用PID方式进行温度调节,可设置30段升降温程序。仪器面板上安装有RS485接口,可配用控

产品详细信息

技术参数

电压

  • 输入:208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 单相  ( < 3200W )
  • 输出: 0 - 8VAC (可调)最大电流: 400A 
  • 最大功率:4000W(包括真空泵)

真空腔体

  • 不锈钢腔体:280mm ID. x 375 mm H,腔体内壁做了电抛光处理
  • 有两个40mm的观察窗口(采用无氧铜密封圈密封)
  • 一个RF-150法兰,便于放入样品。
  • 一个CF150法兰,可与真空泵相连接
  • 一个CF-16法兰
  • 七个CF-36法兰,便于安装真空计、电极和其他用途备用

真空泵

(点击图片查看详细资料)

  • 仪器中包括一台高抽速的涡轮分子泵
  • 抽速:600L/S
  • 真空度:5.0x10-6 torr(泵开启后40分钟)
  • 极限真空度:5.0x10-7  torr(烘烤温度为100-150℃)
  • 漏气率:5.0x10-7Pa./S

 

蒸发加热源 样品台

  • 5个水冷电极安装在腔体底部,可支持4个钨加热舟
  • 每个钨舟上面安装有可移动的挡板,所以实验时可以实现多源共蒸发,也可实现顺序蒸发
  • 样品台安装在真空腔体顶部,直径为260mm
  • 蒸发源与样品台的距离为300mm

测厚仪

  • 一个高分辨度的薄膜测厚仪安装在腔体内部
  • 测量精度为:1.0Å

循环水冷机

  • 仪器使用过程中需要通冷却水,为了节约用水,强烈建议使用循环水冷机
  • 所需水流量>15L/min

   

控制单元

真空、厚度和输入电源控制全部集合在一个控制盒内

控制单元和真空腔体独立分开,以便于操作

外形尺寸

L600mm× W860mm× H1500mm

净重

600kg

质保

一年质保期,终生维护

质量认证

CE认证

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