高频开关电源维修 高频电源维修

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产品型号:高频电源维修
 牌:其它品牌
公司名称:上海渠利自动化科技有限公司
  地:上海松江
发布时间:2014-07-03
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产品简介

高频电源维修范围:刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等工艺设备电源维修,进口设备工业电源、中科院射频电源、高频电源、美国AE电源维修 ,也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源 CLX系列低频电源等。高频开关电源维修

产品详细信息

高频开关电源维修、高频电源维修范围:刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等工艺设备电源维修,进口设备工业电源、中科院射频电源、高频电源、美国AE电源维修 ,也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源 CLX系列低频电源、CLF系列低频电源、CX系列高频电源、CX5K和CX10K高频射频功率源、CXH系列高功率/高频电源、CPS系列高频电源、CB系列高频射频电源、CV系列甚频(VHF)电源、CDX系列双频电源、XDC1000直流电源、MATCH自动调谐网络、ESC系列静电夹盘电源 ,美国AE电源维修,美国MDX,MDXII,Pinnacle,Pinnacle,Diamond系列 等

DC( 直流系列 ) :

MDX Series: MDX500,MDX 5KW,MDX 10KW, MDX13KW,MDX II 15KW, MDX II 30KW ,MDX 1K,MDX 1.5K ,MDX Delta MDX II Series: MDX II 15kw,MDX II 18P

PINNACLE Series: Pinnacle 6KW,Pinnacle 12KW,Pinnacle 10KW,Pinnacle 20KW,Pinnacle 8KW,Pinnacle 15KW

PINNACLE 3000 PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW,Pinnacle Plus+ Dual output 5KW,Pinnacle Plus+ 10KW

DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW,Pinnacle Diamond 10KW,Pinnacle Diamond 15KW
MDX-L Series: MDX-L6,MDX-L 6kW HALO,MDX-L12,MDX-L 12M,MDX-L 12M 650,MDX-L18

SPARC Series: Sparc-le 20,Sparc-le V,Sparc VS E'Wave DC Pulsing Accessoires : DC PULSAR

AC( 交流 / 中频系列 ) :

PE: PE 1000,PE 2500,PE 3750,PE 5000,PE-10K,P E-20K,PE-30K,PE-1000SG

PEII :PE II 5KW,PE II 10KW,PE II 60KW

PDX :PDX 500,PDX 900-2V,PDX 1250,PDX 1400,PDX 2500,PDX 5000,PDX 7.5K,PDX 8000,PDZ 2200,MSD 350W

PDW 600,PDW 2200 ; PDP 2500,PDP 3500 ; PEP 250,PEP 2500,PEP 5000
Dressler LFGS:LFGS 1250A,LFGS:LFGS 1250B,LFGS:LFGS 1250C,LFGS:LFGS 1250D

RF ( 射频系列 ) :
RFG : RFG 80维修,RFG 1250,RFG 1250 HALO,RFG 1251,RFG 3000维修,RFG 3001维修,RFG 5500维修,RFG 2K-2V,RFDS 1250,RFDS 1250-A,RFDS 3000维修,RFDS 2Kw-2KV

APEX : Apex 1513,Apex 2027,Apex 3013,Apex 4027,Apex 5513,Apex 7kW/13,Apex 10kW/13,Apex 3513,Apex 10013,Apex 8013,Atlas 2,
Atlas 1513,Atlas 3013,Atlas 2504,Atlas 2027,Atlas 2012,Atlas 4012,Atlas 5002,Atlas 5012,Atlas 5013,Atlas 5027,Rapid F

RFX : RFX 600维修,RFX 600A维修,RFX 1250维修,RFX 2500维修,RFX 5500维修,RFG-AZX维修

RFX II : RFX II 1250维修,RFX II 3000维修,RFX II 5500维修

HFG : HFG 2500维修,HFG 5000维修,HFG 4M维修

HFV : HFV-3K维修,HFV-5K维修,HFV-8K维修,HFV-L 3KW维修

RFPP : RF-5S 250/500W维修,RF-10维修,RF-10S维修,RF-20维修,RF-20S维修,RF-25维修,RF-30S维修,RF-30H维修,RF-35维修,RF-40维修,RF-50维修,RF-50S维修,

RF -10M维修,RF-10MWC维修,RF-20R维修,RF -20M维修,RF -25M维修,LF-5维修,LF-10维修,LF-20维修,LF-30维修,LF-50维修,HF-5维修,HF-10维修,HF-100维修,HF-150维修

Ovation VHF:VHF-2760W维修,VHF-2060维修,VHF-2560维修,VHF-35162维修

ICP Generator:ICP-1KW,ICP-1.5KW,ICP-1.6KW,ICP-2KW

Dressler HPG:HPG 03300维修,HPG 13150维修,HPG 13300维修,HPG 27300维修

Dressler Cesar: Cesar 0210,Cesar 0220(200v/400v),Cesar 0225(200v/400v)
Cesar 0230(200v/400v),Cesar 0250(200v/400v),Cesar 026,Cesar 0410,Cesar 0420(200v/400v)
Cesar 0425(200v/400v),Cesar 0450(200v/400v),Cesar 046,Cesar 1310,Cesar 1312,Cesar 1320(200v/400v)
Cesar 1325(200v/400v),Cesar 133,Cesar 1330(200v/400v),Cesar 1350(200v/400v),Cesar 136,Cesar 2710
Cesar 2720(200v/400v),Cesar 273,Cesar 2740(200v/4000v),Cesar 276,Cesar 4010,Cesar 4020(200v/400v)
Cesar 403,Cesar 4040(200v/400v),Cesar 405,Cesar 6010,Cesar 6020(200v/400v),Cesar 603,Cesar 605

M2溅镀电源 Thor 12K DC Plasma Power Supply.
SINGULUS POWER GSC80维修 GSC120维修。

ADL电源GSC80维修 GSC120维修,GX80维修 GX120维修 GX100 直流电源维修系列。
高频开关电源维修

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