四探针电阻率测试仪 电阻率测试仪 测试仪BY.79-WSP-2 BY.79-WSP-2

本仪器按照半导体材料电阻率的国际及国家标准测试方法有关规定设计，它主要由电器测量部份（主机）及四探针探头组成。样品测试电流由高精宽的恒流源提供，随时可进行校准，以确保电阻率测量的准确度。  

主要技术指标: 。

对0.1～199.9Ω*cm标准样片的测量误差不超过±0.1。

    （1）测量范围：可测量电阻率：0.1～199.9Ω*cm。
                   可测方块电阻： 1～1999Ω/口

               *大电阻测量误差（按JJG508-87进行）：

               0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%

               适合测量各种厚度的硅片，可测晶片直径（*大）

               园形Ф100mm           方形230×220mm

（2）恒流源：
     输出电流：0.01～1mA连续可调，误差≦±0.5%。恒流精度：各档均优于±0.1%

    （3）直流数字电压表

     测量范围：0.1～199.9mv    灵敏度：100μv   准确度：0.2%（±2个字）  

         当没有测量时，表上数字不归零属于正常，是其自身处于自动扫描状态

    （4）供电电源：AC：  220V ±10%（保护隔离）     50/60HZ   功率2W

（5）四探针探头： a.钨钢探针或高速钢探针    b.间距1±0.01mm    

     c.针尖绝缘电阻≥100mΩ  d.机械游移率≦1.0%  e.探针压力 12-16牛顿（总力）

（6）使用环境：
         温度23±2℃，相对湿度≤80%  无较强的电场干扰    无强光直接照射

（7）使用方法；

a. 使用仪器前将电源线、测试笔联接线与主机联接好，电源线插头插入～220V座插后，开启背板上的电源开关，此时前面板上的数字表、发光二极管都会亮起来。探针头压在被测单晶上，右边的表显示从1、4探针流入单晶的测量电流，左边的表显示电阻率或2、3探针间的电位差。电流大小通过旋转前面板右上方的电位器旋钮加以调节

b.  校准设备：厚度小于3.98mm的（本公司提供厚度小于3.98mm的标准电流修正系数表）取与要备测试硅材料厚度相同的硅材料标准样块校准电阻率测试仪，测试厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一标准样块校准电阻率测试仪。 

c.测试: 用四探针接触硅材料，以探针压下三分之二为准，待仪器显示数字稳定即可.

d． 校验：在测试过程中要求每隔2小时用标准样块校准一次设备

一般情况下,除了信号传输线的断裂引起的故障外, 针的维护主要包括针头的更换和针头的清理清洁工作。

维护后的安装及维护过程中,必须注意安装过程中的排线位置,按绿红黄黑（1234）位置排列。