氦质谱检漏仪 SFJ-261
产品简介
● 采用便携式设计 ● 设备外型美观小巧 ● 采用触摸屏设计 ● 有通讯接口 ● 可以方便地将检漏数据输出 SFJ-261型氦质谱检漏仪将广泛的应用于半导体工艺设备的维护、工业气体系统的检测与安装、元器件在组装前的漏率测试及要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件下的应用场合。
产品详细信息
SFJ-261型氦质谱检漏仪产品介绍:
*小可检漏率 5x10 -12Pa*m3/S
检测范围 103~10 -12Pa*m3/S
*大进气口压 1000Pa
响应时间 <1s
吸**式 1x10 -8Pa*m3/S
环境温度 5°C~35°C
相对温度 <80%
供电电压、单向交流 220V±10%,50Hz
*大工作电流 6A
检测口规格 DN25 ISO-KF
外型尺寸 (W)900x(D)560x(H)650
重量 72kg
吸枪 标准2.5m根据客户要求定制