布鲁克的新AcuityXR技术突破衍射极限

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  马萨诸塞州波士顿市11月29日,2010 -布鲁克公司(纳斯达克股票代码:BRKR)今天宣布,在材料研究学会(MRS)的2010年秋季会议的AcuityXR?,一种新的光学表面轮廓模式相结合的独特的,正在申请**的布鲁克硬件和软件技术,使选择ContourGT?非接触式,三维光学表面廓线仪,打破光衍射极限,并提供了以前认为不可能实现横向决议。

  在许多应用的纳米级半导体,医疗和精密加工领域有今天的表面特征和缺陷的尺寸限制,由于检测或鉴定的光学衍射极限。这样微乎其微的特点和缺陷往往直接影响到功能,性能,质量和/或生产的产量和极大的兴趣是研究人员和生产质量保证/质量控制人员的一致好评。布鲁克光学表面轮廓与新装备系统AcuityXR模式已显示出低于130纳米宽的特点,这是****的,在光学显微镜是近三倍比没有这种技术系统更高的分辨率。此外,AcuityXR使这种新的水平,同时保持**的宽视场的视图和布鲁克非接触式,三维光学表面分析高的性能优势。随着AcuityXR,在狭窄的可重复性三维结构已被证明比提高5倍以上的因素,除了显示其能力非常优良特性,揭示一个真实的计量利益的技术。 AcuityXR是一个可选的功能,现已布鲁克ContourGT- K1的,X3和X8的光学表面廓线仪可用。

  “AcuityXR结合了增强的计量在ContourGT- K1的,X3和X8的系统,共同提供****的横向光学显微镜分辨率的硬件技术实现新的测量算法,从根本上说,“罗斯问:***先生,副总裁兼总经理布鲁克的手写笔和光学计量单位。 “这个了不起的新功能,这完全是对ContourGT系统上可用,是一个很大的好处向我们当前和未来的半导体,医疗和精密加工应用中的特征尺寸不断缩小,而对质量的需求不断增加的客户。

  马克河蒙克博士,纳米表面的布鲁克业务总裁说:“AcuityXR基于业界**的性能,可重复性和ContourGT产品系列易于使用的功能建立将这一****的成就,市场真正说明布鲁克的。持续致力于提供*高的价值nanosurface计量系统,我们的工业和研发的客户。“