世界上**台电子显微镜在1931年诞生于柏林,它是由M. Knoil和E. Rusk通过改装一台可拆卸的高速阴**线管示波器而制成的,具有3个透镜,是采用冷阴极电子源的透射式电子显微镜。1934年,M. Knoil和E. Rusk将分辨率提高到500Å。
电子显微镜与金相显微镜
一、光源不同:金相显微镜采用可见光作为光源,扫描电镜采用电子束作为光源成像。
二、原理不同:金相显微镜利用几何光学成像原理进行成像,扫描电镜利用高能量电子束轰击样品表面,激发出样品表面的各种物理信号,再利用不同的信号探测器接受物理信号转换成图像信息。
三、分辨率不同:金相显微镜因为光的干涉与衍射作用,分辨率只能局限于0.2-0.5um之间。扫描电镜因为采用电子束作为光源,其分辨率可达到1-3nm之间,因此金相显微镜的组织观察属于微米级分析,扫描电镜的组织观测属于纳米级分析。
四、景深不同:一般金相显微镜的景深在2-3um之间,因此对样品的表面光滑程度具有极高的要求,所以其的制样过程相对比较复杂。而扫描电镜则有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构。
扫描电子显微镜原理
电子显微镜与金相显微镜
一、光源不同:金相显微镜采用可见光作为光源,扫描电镜采用电子束作为光源成像。
二、原理不同:金相显微镜利用几何光学成像原理进行成像,扫描电镜利用高能量电子束轰击样品表面,激发出样品表面的各种物理信号,再利用不同的信号探测器接受物理信号转换成图像信息。
三、分辨率不同:金相显微镜因为光的干涉与衍射作用,分辨率只能局限于0.2-0.5um之间。扫描电镜因为采用电子束作为光源,其分辨率可达到1-3nm之间,因此金相显微镜的组织观察属于微米级分析,扫描电镜的组织观测属于纳米级分析。
四、景深不同:一般金相显微镜的景深在2-3um之间,因此对样品的表面光滑程度具有极高的要求,所以其的制样过程相对比较复杂。而扫描电镜则有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构。