如今，在地球****资源的疯狂使用下，太阳能等其他新型能源越来越得到重视，一些工艺的要求早已达到国际***的标准。目前在太阳能电池的制造工艺中诸多应用到等离子清洗技术。

　　首先简单介绍下太阳能电池的制造流程：1.硅片的切割，材料准备。2.去除损伤层。3.制绒。4.扩散制结。5.边缘蚀刻，清洗。6.沉积减反射层。7.丝网印刷上下电极。8.共烧形成金属接触。9.电池片测试。

　　其中第三步制绒中的应用：在硅片进行强酸强碱溶液腐蚀之前经过等离子处理，使得硅片表面的达因值增强，表面积增强数倍后与腐蚀溶液的接触面更广，从而间接增强了硅片表面的腐蚀效果，漫反射率得得到了显著提升。再者大大增加了腐蚀溶液的利用率。

　　第五步边缘蚀刻、清洗：扩散层会形成电池的短路，因此必须要用干法等离子清洗去除，在辉光放电条件下通过氟和氧交替对硅作用，去除含有扩散层的周边。扩散后清洗的目的是去除扩散过程中形成的磷硅玻璃。

　　第七步丝网印刷上下电极的应用：*早采用真空蒸镀或化学电镀技术，而现在普遍采用丝网印刷法，即通过特殊印刷机和模板将银浆铝浆印刷在太阳电池的正反面，以形成正负电极引线。当然，在多数丝网印刷的工艺前端使用等离子清洗技术，绑定和耐久效果可显而易见!