椭圆偏正测厚仪 椭圆测厚仪 SS-SGC-1A
产品简介
椭圆偏振测厚仪 椭圆测厚仪 型号:SS-SGC-1A
产品详细信息
椭圆偏振测厚仪 椭圆测厚仪 型号:SS-SGC-1A
技术指标:
编号 |
名称 |
参数 |
1 |
测量范围 |
1nm-300nm |
2 |
测量*小值 |
≤1nm |
3 |
入射角 |
30°~90°误差≤0.1° |
4 |
偏振器方位角读数范围 |
0°~180° |
5 |
度盘刻度 |
每格2度 |
6 |
游标*小读数 |
0.05° |
7 |
光学中心高度 |
152mm |
8 |
工作台直径 |
φ70mm |
9 |
外形尺寸 |
730mm×230mm×290mm |
10 |
主机重量 |
20kg |