MKS 1559A质量流量控制器 质量流量计 1159A

1559A系列多用途大流量质量流量控制器是应用于多用途的大流量流量控制，涵盖了从20SLM到200SLM的量程。和其他流量控制器相比，1559A独特的控制阀门消除了运行中的振动和提供了更快的响应时间。通过平衡力阀门的设计可以自动中和在控制阀门内产生的管线压 力所导致的不平衡。

快速的启动，快速的响应时间和1%的测量精度（氮气），这些特点在减少设备的停顿时间和保证正确的气体流量到工艺腔体内都是很重要的。

MKS 1559A有杰出的RFI（射频干扰）保护能力，在阀门控制信号小于全量程的0.2%时有一个噪音的**防护，MKS同样提供了一个可**兼容的、独立的电源/读数单元，包括246C、247D和647C。

MKS 558只是显示流量的流量计，558可输出0-5VDC的线性信号，涵盖了和1559A相同的量程。同样，阀门的可用型号就是154A（1559A的阀门部分）。

产品特点：

用于大流量应用的从20SLM到200SLM的全量程

平衡力阀门设计将由于管路压力的波动所导致的振动降到*小

小于30分钟的快速启动时间将宝贵的生产停顿时间降到*小

小于2秒的响应时间可以快速达到所需要的设定值

可接受外部压力信号的输入（0-10VDC）来进行压力控制

可提供用于大流量监控的流量计（型号558MFM）

1年质量保证确保了产品质量和客户的满意度

符合欧洲CE认证标志

技术参数：

全量程范围： 20slm 到 200slm

*大入口压力：100Psig

控制量程： 1% 到 100% 的全量程

测量精度：全量程的±1%

重复性：全量程的±0.2%

分辨率：全量程的0.1%

热机时间：小于30分钟

流量计的响应时间：500毫秒

响应时间：小于2秒

电源要求：±15VDC（±5%）,350ma

模拟输出：0-5 VDC,线性输出

电气通讯方式：模拟15针“D”型

材质：316L不锈钢 泄露率：小于1*10ˉ9 scc/sec He

接头法兰：8 VCR Male，8 VCO Male,1/2 卡套

电气认证：符合欧洲CE认证